Titano besisukantis cilindras

Tai komponentas, naudojamas fizinio nusodinimo garais (PVD) procesuose, tai yra būdas plonoms medžiagos plėvelėms nusodinti ant pagrindo. Titano vamzdžio taikinys yra pagamintas iš gryno titano ir yra cilindro formos, kuris sukasi PVD proceso metu.

PVD procesas veikia naudojant elektrinį lanką arba magnetroninį purškimą, kad išgaruotų tikslinę medžiagą, šiuo atveju titaną, ir padengtų ją kaip ploną plėvelę ant pagrindo. Besisukantis cilindro taikinys leidžia tolygiau nusodinti titano plėvelę ant pagrindo.

Naudojimo PVD procesuose privalumai yra didelis nusodintos plėvelės grynumas, didelis nusodinimo greitis ir geresnis plėvelės sukibimas. Titano rotaciniai taikiniai magnetroniniam purškimui yra pagaminti iš aukštos kokybės titano medžiagos ir yra sukurti taip, kad PVD proceso metu atlaikytų aukštą temperatūrą ir mechaninius įtempius.

Specifikacijos įvadas

Įprasto dydžio tipas:

Mūsų pranašumas

Mūsų tiekiami titano taikiniai yra mažų grūdelių, vienodo pasiskirstymo, didelio grynumo, nedaug intarpų ir didelio grynumo. Nusodinta TiN plėvelė naudojama apdailos, įrankių, puslaidininkių ir kitose srityse, pasižyminti geru sukibimu, vienoda danga ir ryškiomis spalvomis.

--Grynumas

Norint pagaminti kvalifikuotą titano purškimo taikinį, grynumas yra vienas iš svarbių našumo rodiklių. Titano taikinio grynumas turi didelę įtaką purškimo dangos veikimui. Kuo didesnis titano taikinio grynumas, tuo mažiau priemaišų elementų dalelių purškiamoje titano plėvelėje, todėl PVD danga geriau veikia, įskaitant didesnį atsparumą korozijai ir elektrines bei optines savybes. Tačiau praktikoje skirtingiems tikslams skirti titano taikiniai turi skirtingus grynumo reikalavimus. Tikslinė medžiaga naudojama kaip katodo šaltinis purškiant, o medžiagoje esantys priemaišų elementai ir poringumo intarpai yra pagrindiniai nusodintos plėvelės taršos šaltiniai. Akytumo inkliuzai iš esmės bus pašalinti atliekant neardomąjį luito bandymą, o nepašalinti akytumo intarpai sukels iškrovą purškimo proceso metu ir taip paveiks plėvelės kokybę; priemaišų elementų kiekis gali atsispindėti tik visos elementų analizės bandymo rezultatuose, kuo mažesnis bendras priemaišų kiekis, tuo didesnis titano taikinio grynumas.

--Tankis

Tankis taip pat yra svarbus veiksnys matuojant titano taikinių kokybę. Norint sumažinti tikslinės kietosios medžiagos poringumą ir pagerinti purškiamos plėvelės veikimą, taikinio tankis paprastai turi būti didesnis.

Taikinio tankis turi įtakos ne tik purškimo greičiui, bet ir elektrinėms bei optinėms plėvelės savybėms. Kuo didesnis tikslinis tankis, tuo geresnis filmo veikimas. Be to, padidinus taikinio tankį ir stiprumą, taikinys gali geriau atlaikyti šiluminį įtampą purškimo metu. Tankis taip pat yra vienas iš pagrindinių tikslo veiklos rodiklių.

--Dalelių dydis ir jų pasiskirstymas

Paprastai purškimo taikiniai yra polikristalinės struktūros, kurių grūdelių dydis yra nuo kelių mikrometrų iki kelių milimetrų. Tam pačiam taikiniui, kuo mažesnis taikinio dalelių dydis, tuo didesnis taikinio purškimo greitis; be to, taikinys su mažesniu dalelių dydžio skirtumu gali išpurkšti vienodesnio storio plėvelę. Tyrimas parodė, kad jei titano taikinio grūdelių dydis yra mažesnis nei 100 μm, o grūdelių dydžio kitimas neviršija 20%, purškiamos plėvelės kokybė gali būti žymiai pagerinta.

--kristalografinė orientacija

Titanas turi glaudžiai supakuotą šešiakampę struktūrą. Kadangi purškimo metu titano taikinio atomai lengvai išpurškiami šešiakampe glaudžiai supakuota atomų kryptimi, norint pasiekti didesnį purškimo greitį, taikinio kristalinę struktūrą galima pakeisti keičiant metodą. kad padidėtų purškimo greitis. Titano taikinio kristalografinė kryptis taip pat turi didelę įtaką purškiamos plėvelės storio vienodumui.

--Struktūrinis vienodumas

Struktūrinis vienodumas taip pat yra vienas iš svarbių rodiklių tiriant tikslo kokybę. Titano taikiniams reikalinga ne tik taikinio purškimo plokštuma, bet ir įprastinė purškimo plokštumos krypties sudėtis, grūdelių orientacija ir vidutinio grūdelių dydžio vienodumas. Tik tokiu būdu titano taikinys gali gauti vienodo storio, patikimos kokybės ir vienodo grūdelių dydžio titano plėvelę vienu metu per savo tarnavimo laiką.

Specifikacijos atvejis

Sukimosi greitis: taikinys turi turėti galimybę suktis iki kelių tūkstančių aps./min. greičiu, kad būtų pasiektas tolygesnis nusodinimo greitis ir pailgėtų taikinio naudojimo laikas.

Aušinimas: titano vamzdžio taikinys turi būti aušinamas vandeniu, kad būtų išsklaidyta nusodinimo proceso metu susidariusi šiluma ir būtų išvengta taikinio pažeidimo.
Atraminė plokštė: titano atraminė plokštė paprastai naudojama besisukančio cilindro taikiniui palaikyti ir elektriniam kontaktui užtikrinti.
Klijavimo būdas: taikinys paprastai yra klijuojamas prie pagrindo plokštės naudojant difuzinį sujungimą arba kitus didelio stiprumo sujungimo būdus, kad būtų užtikrintas geras šilumos ir elektros laidumas.
Grynumas: titano sukamieji magnetrono purškimo taikiniai turi būti labai švarūs, kad būtų kuo mažiau nešvarumų nusodintose plėvelėse ir būtų užtikrintas pastovus veikimas. Daugeliu atvejų priemaišų lygis turi būti mažesnis nei 1000 milijonų dalių (ppm).

Apskritai, titano besisukančio cilindro taikinio specifikacijos skirsis priklausomai nuo konkrečių taikymo reikalavimų, o taikinį galima pritaikyti, kad atitiktų šiuos poreikius.

Populiarus Žymos: Titano rotaciniai taikiniai magnetroniniam purškimui, titano vamzdžio taikiniai